化学溶液堆積法によるZnO系酸化物TFTの低温作製および特性改善に関する研究

化学溶液堆積法によるZnO系酸化物TFTの低温作製および特性改善に関する研究

カガク ヨウエキ タイセキホウ ニ ヨル ZnOケイ サンカブツ TFT ノ テイオン サクセイ オヨビ トクセイ カイゼン ニ カンスル ケンキュウ

三浦佑太

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3

学位論文

巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R009256

2

  • [MS]2012(13)

禁帯出

詳細情報

刊年

2012

別書名

Research on low temperature fabrication of ZnO-based oxide TFT by chemical solution deposition and the characteristic improvement

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2012年3月

注記

学位記番号: 修第5537号

学位授与年月日: 2012/3/23

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 1031081

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

三浦, 佑太 (ミウラ, ユウタ)

件名

化学溶液堆積(CSD)法

酸化物TFT

IGZO

IZO

低温作製