化学溶液堆積法によるZnO系酸化物TFTの低温作製および特性改善に関する研究

化学溶液堆積法によるZnO系酸化物TFTの低温作製および特性改善に関する研究

カガク ヨウエキ タイセキホウ ニ ヨル ZnOケイ サンカブツ TFT ノ テイオン サクセイ オヨビ トクセイ カイゼン ニ カンスル ケンキュウ

三浦佑太

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R009256

2

  • [MS]2012(13)

Restricted

Details

Publication year

2012

Alternative title

Research on low temperature fabrication of ZnO-based oxide TFT by chemical solution deposition and the characteristic improvement

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2012年3月

Note

学位記番号: 修第5537号

学位授与年月日: 2012/3/23

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 1031081

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

三浦, 佑太 (ミウラ, ユウタ)

Subject

化学溶液堆積(CSD)法

酸化物TFT

IGZO

IZO

低温作製