フレキシブルディスプレイの実現に向けた非晶質IGZO薄膜トランジスタに対する熱処理雰囲気の検討

フレキシブルディスプレイの実現に向けた非晶質IGZO薄膜トランジスタに対する熱処理雰囲気の検討

フレキシブル ディスプレイ ノ ジツゲン ニ ムケタ ヒショウシツ IGZO ハクマク トランジスタ ニ タイスル ネツショリ フンイキ ノ ケントウ

丸山智己

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2011.3

学位論文

巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R008531

2

  • [MS]2011(16)

禁帯出

詳細情報

刊年

2011

別書名

The examination of the heat-treatment atmosphere for amorphous IGZO thin film transistor for the realization of the flexible display

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2011年3月

注記

学位記番号: 修第5208号

学位授与年月日: 2011/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0931078

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

丸山, 智己 (マルヤマ, トモキ)

件名

TAOS

IGZO

薄膜トランジスタ