フレキシブルディスプレイの実現に向けた非晶質IGZO薄膜トランジスタに対する熱処理雰囲気の検討

フレキシブルディスプレイの実現に向けた非晶質IGZO薄膜トランジスタに対する熱処理雰囲気の検討

フレキシブル ディスプレイ ノ ジツゲン ニ ムケタ ヒショウシツ IGZO ハクマク トランジスタ ニ タイスル ネツショリ フンイキ ノ ケントウ

丸山智己

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2011.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R008531

2

  • [MS]2011(16)

Restricted

Details

Publication year

2011

Alternative title

The examination of the heat-treatment atmosphere for amorphous IGZO thin film transistor for the realization of the flexible display

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2011年3月

Note

学位記番号: 修第5208号

学位授与年月日: 2011/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0931078

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

丸山, 智己 (マルヤマ, トモキ)

Subject

TAOS

IGZO

薄膜トランジスタ