マイクロ波素子用エピタキシャル(Ba,Sr)TiO3薄膜の作製と電気的特性の系統的評価

マイクロ波素子用エピタキシャル(Ba,Sr)TiO3薄膜の作製と電気的特性の系統的評価

マイクロハ ソシ ヨウ エピタキシャル (Ba,Sr)TiO3 ハクマク ノ サクセイ ト デンキテキ トクセイ ノ ケイトウテキ ヒョウカ

河野琢磨

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2007.3

学位論文

巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R005374

2

  • [MS]2007(8)

禁帯出

詳細情報

刊年

2007

別書名

Systematic fabrication and electrical property evaluations of (Ba,Sr)TiO3 thin film for the microwave device

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2007年3月

注記

学位記番号: 修第3772号

授与年月日: 2007/03/23

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0531039

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

河野, 琢磨 (コウノ, タクマ)

件名

BST

dielectric constant

tunability

sputter deposition

frequency conversion

microwave