マイクロ波素子用エピタキシャル(Ba,Sr)TiO3薄膜の作製と電気的特性の系統的評価

マイクロ波素子用エピタキシャル(Ba,Sr)TiO3薄膜の作製と電気的特性の系統的評価

マイクロハ ソシ ヨウ エピタキシャル (Ba,Sr)TiO3 ハクマク ノ サクセイ ト デンキテキ トクセイ ノ ケイトウテキ ヒョウカ

河野琢磨

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2007.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R005374

2

  • [MS]2007(8)

Restricted

Details

Publication year

2007

Alternative title

Systematic fabrication and electrical property evaluations of (Ba,Sr)TiO3 thin film for the microwave device

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2007年3月

Note

学位記番号: 修第3772号

授与年月日: 2007/03/23

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0531039

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

河野, 琢磨 (コウノ, タクマ)

Subject

BST

dielectric constant

tunability

sputter deposition

frequency conversion

microwave