上部金属電極の自己整合加工を伴った強誘電体微細パターンの作製

上部金属電極の自己整合加工を伴った強誘電体微細パターンの作製

ジョウブ キンゾク デンキョク ノ ジコ セイゴウ カコウ ヲ トモナッタ キョウユウデンタイ ビサイ パターン ノ サクセイ

鈴木剛造

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2002.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R002318

2

  • [MS]2002(8)

Restricted

Details

Publication year

2002

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2002年3月

Note

学位記番号: 修第2061号

授与年月日: 2002/03/22

学生番号: 0031045

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

鈴木, 剛造 (スズキ, コウゾウ)