上部金属電極の自己整合加工を伴った強誘電体微細パターンの作製

上部金属電極の自己整合加工を伴った強誘電体微細パターンの作製

ジョウブ キンゾク デンキョク ノ ジコ セイゴウ カコウ ヲ トモナッタ キョウユウデンタイ ビサイ パターン ノ サクセイ

鈴木剛造

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2002.3

学位論文

巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R002318

2

  • [MS]2002(8)

禁帯出

詳細情報

刊年

2002

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2002年3月

注記

学位記番号: 修第2061号

授与年月日: 2002/03/22

学生番号: 0031045

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

鈴木, 剛造 (スズキ, コウゾウ)