Crystalline silicon growth at low-temperature and its application to thin-film transistors and related devices

Crystalline silicon growth at low-temperature and its application to thin-film transistors and related devices

田邉浩

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2021.03

学位論文

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巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R016730

詳細情報

刊年

2021

別書名

結晶Siの低温成長とその薄膜トランジスタ、関連デバイスへの応用

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2021年3月

注記

学位記番号: 博第1783号

報告番号: 甲第1783号

学位授与年月日: 2021/03/31

学位の種類: 博士(工学)

標題言語

英語 (eng)

本文言語

英語 (eng)

著者情報

田邉, 浩 (タナベ, ヒロシ)

件名

crystalline silicon

low-temperature growth

thin-film transistor

poly-Si TFT

excimer laser