Crystalline silicon growth at low-temperature and its application to thin-film transistors and related devices

Crystalline silicon growth at low-temperature and its application to thin-film transistors and related devices

田邉浩

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2021.03

Thesis / Diss.

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Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R016730

Details

Publication year

2021

Alternative title

結晶Siの低温成長とその薄膜トランジスタ、関連デバイスへの応用

Series title

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2021年3月

Note

学位記番号: 博第1783号

報告番号: 甲第1783号

学位授与年月日: 2021/03/31

学位の種類: 博士(工学)

Country of publication

Japan

Title language

English (eng)

Language of texts

English (eng)

Author information

田邉, 浩 (タナベ, ヒロシ)

Subject

crystalline silicon

low-temperature growth

thin-film transistor

poly-Si TFT

excimer laser