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部分照射レーザーアニールシリコンを用いた薄膜トランジスタのオフ電流低減

部分照射レーザーアニールシリコンを用いた薄膜トランジスタのオフ電流低減

ブブン ショウシャ レーザー アニール シリコン オ モチイタ ハクマク ト ランジスタ ノ オフ デンリュウ テイゲン

餅井亮介

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2019.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R015663

2

  • [MS]2018(12)

Restricted

Details

Publication year

2019

Alternative title

Off Current Reduction of TFT by Partial Laser Anneal Silicon

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2019年3月

Note

学位記番号: 修第7970号

学位授与年月日: 2019/03/31

学位の種類: 修士(工学)

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

餅井, 亮介 (モチイ, リョウスケ)

Subject

薄膜トランジスタ

TFT

Si

PLAS

デバイスシミュレーション

レーザー