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SiO2/SiC界面における窒素局所構造に関する研究

SiO2/SiC界面における窒素局所構造に関する研究

SiO2/SiC カイメン ニ オケル チッソ キョクショ コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ

森大輔

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2018.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 2
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R014314

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1

  • Abstract

R014396

Details

Publication year

2018

Alternative title

Investigation of Local Structures of Nitrogen atoms passivating SiO2/SiC interfaces

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2018年3月

Note

学位記番号: 博第1563号

報告番号: 甲第1563号

学位授与年月日: 2018/03/23

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 1741013

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

森, 大輔 (モリ, ダイスケ)

Subject

SiC

界面

酸化膜

窒素