SiO2/SiC カイメン ニ オケル チッソ キョクショ コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
森大輔
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2018.3
1
R014314
R014396
2018
Investigation of Local Structures of Nitrogen atoms passivating SiO2/SiC interfaces
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2018年3月
学位記番号: 博第1563号
報告番号: 甲第1563号
学位授与年月日: 2018/03/23
学位の種類: 博士(工学)
学生番号: 1741013
日本語 (jpn)
森, 大輔 (モリ, ダイスケ)
SiC
界面
酸化膜
窒素
SiC界面酸化膜窒素
