• Top
  • Details (Local collection)
高圧水蒸気処理を施したSiO2/n-GaN縦型MOSキャパシタにおける物性評価および電気的特性評価に関する研究

高圧水蒸気処理を施したSiO2/n-GaN縦型MOSキャパシタにおける物性評価および電気的特性評価に関する研究

コウアツ スイジョウキ ショリ オ ホドコシタ SiO2/n-GaN タテガタ MOS キャパシタ ニ オケル ブッセイ ヒョウカ オヨビ デンキテキ トクセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ

冨永雄太

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2017.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R013564

2

  • [MS]2016(27)

Restricted

Details

Publication year

2017

Alternative title

Evalution of phycical and electrical characterostics of vertical SiO2/n-GaN MOS capacitor treated by High Pressure Water Vapor Annealing

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2017年3月

Note

学位記番号: 修第7222号

学位授与年月日: 2017/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 1531060

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

冨永, 雄太 (トミナガ, ユウタ)

Subject

窒化ガリウム