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薄膜トランジスタ応用に向けた塗布型シリコン系薄膜のレーザー焼成

薄膜トランジスタ応用に向けた塗布型シリコン系薄膜のレーザー焼成

ハクマク トランジスタ オウヨウ ニ ムケタ トフガタ シリコンケイ ハクマク ノ レーザー ショウセイ

菱谷大輔

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2014.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R011035

2

  • [MS]2014(10)

Restricted

Details

Publication year

2014

Alternative title

Laser Annealing of Coated Silicon-based Thin Film for Thin Film Transistors

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2014年3月

Note

学位記番号: 修第6217号

学位授与年月日: 2014/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 1231070

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

菱谷, 大輔 (ヒシタニ, ダイスケ)

Subject

シリコンインク

ペルヒドロポリシラザン

炭酸ガスレーザー

エキシマレーザー

薄膜トランジスタ

多結晶シリコン