ハクマク トランジスタ オウヨウ ニ ムケタ トフガタ シリコンケイ ハクマク ノ レーザー ショウセイ
菱谷大輔
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2014.3
学位論文2014
Laser Annealing of Coated Silicon-based Thin Film for Thin Film Transistors
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2014年3月
学位記番号: 修第6217号
学位授与年月日: 2014/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 1231070
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
菱谷, 大輔 (ヒシタニ, ダイスケ)
