• Top
  • Details (Local collection)
酸化膜/シリコンカーバイド界面にリンを局所的に導入したMOSデバイスの電気特性と信頼性評価

酸化膜/シリコンカーバイド界面にリンを局所的に導入したMOSデバイスの電気特性と信頼性評価

サンカマク/シリコン カーバイド カイメン ニ リン オ キョクショテキ ニ ドウニュウシタ MOS デバイス ノ デンキ トクセイ ト シンライセイ ヒョウカ

赤木剛

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2013.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R009902

2

  • [MS]2013(1)

Restricted

Details

Publication year

2013

Alternative title

Effect of Interfacial Localization of Phosphorus on Electrical Properties and Reliability of 4H-SiC MOS Devices

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2013年3月

Note

学位記番号: 修第5804号

学位授与年月日: 2013/3/22

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 1131001

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

赤木, 剛 (アカギ, ツヨシ)

Subject

MOS

POCl3

界面準位密度

信頼性