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塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化珪素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用

塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化珪素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用

エンソガス ネツ エッチングホウ オ モチイタ 4Hガタ タンカ ケイソ ノ ビサイ カコウ ト ソレ オ カツヨウシタ チョウテイソンシツ デンリョク セイギョ ソシ エノ オウヨウ

纐纈英典

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 2
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R009303

2

  • [MS]2012

Restricted

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

  • Abstract

R009344

Details

Publication year

2012

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2012年3月

Note

学位記番号: 博第1069号

学位授与年月日: 2012/3/23

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0941006

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

纐纈, 英典 (コウケツ, ヒデノリ)

Subject

炭化珪素

熱エッチング

塩素

異方性

パワーデバイス

微細加工