塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化珪素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用

塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化珪素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用

エンソガス ネツ エッチングホウ オ モチイタ 4Hガタ タンカ ケイソ ノ ビサイ カコウ ト ソレ オ カツヨウシタ チョウテイソンシツ デンリョク セイギョ ソシ エノ オウヨウ

纐纈英典

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3

学位論文

巻号情報

全2件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R009303

2

  • [MS]2012

禁帯出

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

  • Abstract

R009344

詳細情報

刊年

2012

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2012年3月

注記

学位記番号: 博第1069号

学位授与年月日: 2012/3/23

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0941006

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

纐纈, 英典 (コウケツ, ヒデノリ)

件名

炭化珪素

熱エッチング

塩素

異方性

パワーデバイス

微細加工