リン ドウニュウ ニ ヨル カイメン カイシツ オ オコナッ タ シリコン カーバイド ネツ サンカマク ノ シンライセイ ヒョウカ
森下隆至
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3
Thesis / Diss.
| No. | Printing year | Location | Call Number | Material ID | Circulation class | Status | Waiting |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
1 |
|
|
R009260 |
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
Restricted |
|
2012
ffect of POCl3 Annealing on Reliability of Thermal Oxides Grown on 4H-SiC
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2012年3月
学位記番号: 修第5541号
学位授与年月日: 2012/3/23
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 1031086
Japan
Japanese (jpn)
Japanese (jpn)
森下, 隆至 (モリシタ, リュウジ)
