リン ドウニュウ ニ ヨル カイメン カイシツ オ オコナッ タ シリコン カーバイド ネツ サンカマク ノ シンライセイ ヒョウカ
森下隆至
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3
1
R009260
2
禁帯出
2012
ffect of POCl3 Annealing on Reliability of Thermal Oxides Grown on 4H-SiC
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2012年3月
学位記番号: 修第5541号
学位授与年月日: 2012/3/23
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 1031086
日本語 (jpn)
森下, 隆至 (モリシタ, リュウジ)
シリコンカーバイド
MOS
信頼性
リン導入
シリコンカーバイドMOS信頼性リン導入
