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アモルファスカーボン薄膜表面からの裏面電子線照射脱離

アモルファスカーボン薄膜表面からの裏面電子線照射脱離

アモルファス カーボン ハクマク ヒョウメン カラ ノ リメン デンシセン ショウシャ ダツリ

豊嶋孝文

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R009236

2

  • [MS]2012(10)

Restricted

Details

Publication year

2012

Alternative title

Desorption from amorphous-carbon thin-films induced by electron injection from back surfaces

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2012年3月

Note

学位記番号: 修第5517号

学位授与年月日: 2012/3/23

学位の種類: 修士(理学)

学生番号: 1031058

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

豊嶋, 孝文 (トヨシマ, タカフミ)

Subject

ESD

電子線

二次電子

薄膜