アモルファスカーボン薄膜表面からの裏面電子線照射脱離

アモルファスカーボン薄膜表面からの裏面電子線照射脱離

アモルファス カーボン ハクマク ヒョウメン カラ ノ リメン デンシセン ショウシャ ダツリ

豊嶋孝文

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R009236

2

  • [MS]2012(10)

禁帯出

詳細情報

刊年

2012

別書名

Desorption from amorphous-carbon thin-films induced by electron injection from back surfaces

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2012年3月

注記

学位記番号: 修第5517号

学位授与年月日: 2012/3/23

学位の種類: 修士(理学)

学生番号: 1031058

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

豊嶋, 孝文 (トヨシマ, タカフミ)

件名

ESD

電子線

二次電子

薄膜