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走査型プローブ顕微鏡を用いた多結晶シリコン薄膜の新規電子物性評価手法の確立

走査型プローブ顕微鏡を用いた多結晶シリコン薄膜の新規電子物性評価手法の確立

ソウサガタ プローブ ケンビキョウ オ モチイタ タケッショウ シリコン ハクマク ノ シンキ デンシ ブッセイ ヒョウカ シュホウ ノ カクリツ

町田絵美

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2010.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R007724

2

  • [MS]2010(14)

Restricted

Details

Publication year

2010

Alternative title

Scanning Probe Microscope Analysis for Polycrystalline Silicon Thin Films

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2010年3月

Note

学位記番号: 修第4859号

学位授与年月日: 2010/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0831075

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

町田, 絵美 (マチダ, エミ)

Subject

poly-Si TFT

C-AFM

KFM

水素化

電気的欠陥

電子挙動