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ヒョウメン ゲンシ ノ カンサツ シュホウ ノ サイゼンセン
服部賢
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.10
Lecture Archive
| No. | Printing year | Location | Call Number | Material ID | Circulation class | Status | Waiting |
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M006425 |
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半導体デバイスの微細化に伴い、その更なる性能向上を目指すには、原子レベルの精度での、基板表面上へのデバイス構築が必要とされています。この講座では、その表面原子の観察手法として用いられる様々な顕微鏡法や、元素の化学的な状態を測定する種々のエネルギー分光法などを紹介し、それらの展望やデバイス性能との関わりについて解説します。
2009
電子化映像資料(1時間19分39秒)
公開講座 ; 2009 [ニュースがわかる！光とエネルギー、エレクトロニクス]
講演者所属: 本学物質創成科学研究科凝縮系物性学講座准教授
講演日: 平成21年10月31日
講演場所: ミレニアムホール
Japan
Japanese (jpn)
Japanese (jpn)
服部, 賢 (ハットリ, ケン)
