内容紹介

半導体デバイスの微細化に伴い、その更なる性能向上を目指すには、原子レベルの精度での、基板表面上へのデバイス構築が必要とされています。この講座では、その表面原子の観察手法として用いられる様々な顕微鏡法や、元素の化学的な状態を測定する種々のエネルギー分光法などを紹介し、それらの展望やデバイス性能との関わりについて解説します。

詳細情報

刊年

2009

形態

電子化映像資料(1時間19分39秒)

シリーズ名

公開講座 ; 2009 [ニュースがわかる！光とエネルギー、エレクトロニクス]

注記

講演者所属: 本学物質創成科学研究科凝縮系物性学講座准教授

講演日: 平成21年10月31日

講演場所: ミレニアムホール

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

服部, 賢 (ハットリ, ケン)