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グリーンレーザーを用いた積層シリコン薄膜の結晶化技術と三次元素子への応用

グリーンレーザーを用いた積層シリコン薄膜の結晶化技術と三次元素子への応用

グリーン レーザー オ モチイタ セキソウ シリコン ハクマク ノ ケッショウ カ ギジュツ ト サン ジゲン ソシ ヘ ノ オウヨウ

山下毅彦

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R006960

2

  • [MS]2009(15)

Restricted

Details

Publication year

2009

Alternative title

Green Laser Annealing Crystallization for Three-Dimensional Device Application

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2009年3月

Note

学位記番号: 修第4532号

学位授与年月日: 2009/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0731092

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

山下, 毅彦 (ヤマシタ, タケヒコ)

Subject

グリーンレーザーアニール

多結晶シリコン

結晶粒

薄膜トランジスタ

薄膜フォトダイオード

三次元素子