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シリコンカーバイドへのトレンチ構造形成と縦型絶縁ゲート電界効果トランジスタへの応用

シリコンカーバイドへのトレンチ構造形成と縦型絶縁ゲート電界効果トランジスタへの応用

シリコンカーバイド エノ トレンチ コウゾウ ケイセイ ト タテガタ ゼツエン ゲート デンカイ コウカ トランジスタ エノ オウヨウ

中尾裕史

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2006.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R004064

2

  • [MS]2006(16)

Restricted

Details

Publication year

2006

Alternative title

Trench structure formed on SiC and application of TrenchMOSFET

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2006年3月

Note

学位記番号: 修第3477号

授与年月日: 2006/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0431083

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

中尾, 裕史 (ナカオ, ヒロシ)

Subject

SiC

MOSFET

トレンチ

チャネル面

移動度

オフ角