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新規構造シリコン薄膜基板を用いたレーザー結晶化と薄膜トランジスタへの応用

新規構造シリコン薄膜基板を用いたレーザー結晶化と薄膜トランジスタへの応用

シンキ コウゾウ シリコン ハクマク キバン オ モチイタ レーザー ケッショウカ ト ハクマク トランジスタ エノ オウヨウ

菅原祐太

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2006.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R004052

2

  • [MS]2006(8)

Restricted

Details

Publication year

2006

Alternative title

Laser Crystallization of Silicon Thin Films with Novel Structures and It's Application to Thin Film Transistors

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2006年3月

Note

学位記番号: 修第3439号

授与年月日: 2006/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0431041

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

菅原, 祐太 (スガワラ, ユウタ)

Subject

シリコン

薄膜トランジスタ

レーザー結晶化

低温ポリシリコン