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スプレーCVD法による強誘電体PLZT薄膜の作製

スプレーCVD法による強誘電体PLZT薄膜の作製

スプレー CVDホウ ニヨル キョウユウ デンタイ PLZT ハクマク ノ サクセイ

渋谷昌樹

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2006.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R004051

2

  • [MS]2006(7)

Restricted

Details

Publication year

2006

Alternative title

Fabrication of Ferroelectric PLZT Thin Films by Spray CVD

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2006年3月

Note

学位記番号: 修第3435号

授与年月日: 2006/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0431037

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

渋谷, 昌樹 (シブヤ, マサキ)

Subject

ferroelectric

thin film

PLZT

spray CVD