スプレー CVDホウ ニヨル キョウユウ デンタイ PLZT ハクマク ノ サクセイ
渋谷昌樹
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2006.3
学位論文2006
Fabrication of Ferroelectric PLZT Thin Films by Spray CVD
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2006年3月
学位記番号: 修第3435号
授与年月日: 2006/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 0431037
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
渋谷, 昌樹 (シブヤ, マサキ)
