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高集積FeRAM用白金系複合金属電極の作製及び評価

高集積FeRAM用白金系複合金属電極の作製及び評価

コウシュウセキ FeRAMヨウ ハッキンケイ フクゴウ キンゾク デンキョク ノ サクセイ オヨビ ヒョウカ

中島潤一

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003488

2

  • [MS]2005(11)

Restricted

Details

Publication year

2005

Alternative title

Fabrication of Pt hybrid metal electrodes for high-density FeRAMs and their characterization

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2005年3月

Note

学位記番号: 修第3111号

授与年月日: 2005/03/24

学生番号: 0331056

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

中島, 潤一 (ナカジマ, ジュンイチ)

Subject

Pt

Ir

electrode

2-step growth method

surface roughness

crystallinity