高集積FeRAM用白金系複合金属電極の作製及び評価

高集積FeRAM用白金系複合金属電極の作製及び評価

コウシュウセキ FeRAMヨウ ハッキンケイ フクゴウ キンゾク デンキョク ノ サクセイ オヨビ ヒョウカ

中島潤一

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R003488

2

  • [MS]2005(11)

禁帯出

詳細情報

刊年

2005

別書名

Fabrication of Pt hybrid metal electrodes for high-density FeRAMs and their characterization

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2005年3月

注記

学位記番号: 修第3111号

授与年月日: 2005/03/24

学生番号: 0331056

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

中島, 潤一 (ナカジマ, ジュンイチ)

件名

Pt

Ir

electrode

2-step growth method

surface roughness

crystallinity