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酸化膜/シリコンカーバイド界面構造解析と電子物性評価

酸化膜/シリコンカーバイド界面構造解析と電子物性評価

サンカマク/シリコン カーバイド カイメン コウゾウ カイセキ ト デンシ ブッセイ ヒョウカ

山口如洋

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003130

2

  • [MS]2004(15)

Restricted

Details

Publication year

2004

Alternative title

An oxidization film/silicone carbide interface structural analysis, and electronic physical-properties evaluation

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月

Note

学位記番号: 修第2782号

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

山口, 如洋 (ヤマグチ, ユキヒロ)

Subject

SiC

酸化膜

XPS

分光エリプソメーター

(11-20)

Suboxide