酸化膜/シリコンカーバイド界面構造解析と電子物性評価

酸化膜/シリコンカーバイド界面構造解析と電子物性評価

サンカマク/シリコン カーバイド カイメン コウゾウ カイセキ ト デンシ ブッセイ ヒョウカ

山口如洋

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R003130

2

  • [MS]2004(15)

禁帯出

詳細情報

刊年

2004

別書名

An oxidization film/silicone carbide interface structural analysis, and electronic physical-properties evaluation

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月

注記

学位記番号: 修第2782号

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

山口, 如洋 (ヤマグチ, ユキヒロ)

件名

SiC

酸化膜

XPS

分光エリプソメーター

(11-20)

Suboxide