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シリコンカーバイドの微細加工と基礎物性評価

シリコンカーバイドの微細加工と基礎物性評価

シリコン カーバイド ノ ビサイ カコウ ト キソ ブッセイ ヒョウカ

堀江裕介

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003117

2

  • [MS]2004(13)

Restricted

Details

Publication year

2004

Alternative title

Microfabrication and evaluations of fundamental properties in silicon carbide

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月

Note

学位記番号: 修第2769号

授与年月日: 2004/03/24

学生番号: 0231072

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

堀江, 裕介 (ホリエ, ユウスケ)

Subject

シリコンカーバイド

ドライエッチング

誘導結合型プラズマ

コンタクト抵抗