シリコン カーバイド ノ ビサイ カコウ ト キソ ブッセイ ヒョウカ
堀江裕介
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3
1
R003117
2
禁帯出
2004
Microfabrication and evaluations of fundamental properties in silicon carbide
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月
学位記番号: 修第2769号
授与年月日: 2004/03/24
学生番号: 0231072
日本語 (jpn)
堀江, 裕介 (ホリエ, ユウスケ)
シリコンカーバイド
ドライエッチング
誘導結合型プラズマ
コンタクト抵抗
シリコンカーバイドドライエッチング誘導結合型プラズマコンタクト抵抗
