SOI キバンジョウ Si/SiGe エピタキシャル ケッショウ オ モチイタ マイクロ オリガミ コウゾウ ノ サクセイ ト オウヨウ
坂野佳久
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3
Thesis / Diss.
| No. | Printing year | Location | Call Number | Material ID | Circulation class | Status | Waiting |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
1 |
|
|
R003080 |
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
Restricted |
|
2004
Fabrication and application of Si/SiGe epitaxial micro-origami structure on SOI substrate
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月
学位記番号: 修第2732号
授与年月日: 2004/03/24
学生番号: 0231031
Japan
Japanese (jpn)
Japanese (jpn)
坂野, 佳久 (サカノ, ヨシヒサ)
