SOI キバンジョウ Si/SiGe エピタキシャル ケッショウ オ モチイタ マイクロ オリガミ コウゾウ ノ サクセイ ト オウヨウ
坂野佳久
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3
1
R003080
2
禁帯出
2004
Fabrication and application of Si/SiGe epitaxial micro-origami structure on SOI substrate
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月
学位記番号: 修第2732号
授与年月日: 2004/03/24
学生番号: 0231031
日本語 (jpn)
坂野, 佳久 (サカノ, ヨシヒサ)
SOI基板
MEMS
Si/SiGe
マイクロオリガミ
レーザラマン分光法
駆動
SOI基板MEMSSi/SiGeマイクロオリガミレーザラマン分光法駆動
