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低温ポリシリコン薄膜トランジスタの劣化メカニズムの解析

低温ポリシリコン薄膜トランジスタの劣化メカニズムの解析

テイオン ポリシリコン ハクマク トランジスタ ノ レッカ メカニズム ノ カイセキ

金全健

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003074

2

  • [MS]2004(5)

Restricted

Details

Publication year

2004

Alternative title

Degradation mechanism in low-temperature poly-Si TFT

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月

Note

学位記番号: 修第2726号

授与年月日: 2004/03/24

学生番号: 0231025

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

金, 全健 (キン, ゼンケン)

Subject

TFT

ホットキャリア

信頼性

結晶性