低温ポリシリコン薄膜トランジスタの劣化メカニズムの解析

低温ポリシリコン薄膜トランジスタの劣化メカニズムの解析

テイオン ポリシリコン ハクマク トランジスタ ノ レッカ メカニズム ノ カイセキ

金全健

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R003074

2

  • [MS]2004(5)

禁帯出

詳細情報

刊年

2004

別書名

Degradation mechanism in low-temperature poly-Si TFT

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月

注記

学位記番号: 修第2726号

授与年月日: 2004/03/24

学生番号: 0231025

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

金, 全健 (キン, ゼンケン)

件名

TFT

ホットキャリア

信頼性

結晶性