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複合ターゲットスパッタリングによる強誘電体PbTiO3薄膜の作製とNb添加の結晶構造及び電気的特性への影響

複合ターゲットスパッタリングによる強誘電体PbTiO3薄膜の作製とNb添加の結晶構造及び電気的特性への影響

フクゴウ ターゲット スパッタリング ニ ヨル キョウユウデンタイ ナマリ チタン サンソ 3 ハクマク ノ サクセイ ト ニオブ テンカ ノ ケッショウ コウゾウ オヨビ デンキテキ トクセイ エノ エイキョウ

三宅雅人

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2000.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R001423

2

  • [MS]2000(17)

Restricted

Details

Publication year

2000

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2000年3月

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

三宅, 雅人 (ミヤケ, マサト)