フクゴウ ターゲット スパッタリング ニ ヨル キョウユウデンタイ ナマリ チタン サンソ 3 ハクマク ノ サクセイ ト ニオブ テンカ ノ ケッショウ コウゾウ オヨビ デンキテキ トクセイ エノ エイキョウ
三宅雅人
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2000.3
1
R001423
2
禁帯出
2000
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2000年3月
日本語 (jpn)
三宅, 雅人 (ミヤケ, マサト)
