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AsとBを共ドープしたSi結晶中のB原子の局所構造解析

AsとBを共ドープしたSi結晶中のB原子の局所構造解析

As ト B オ キョウドープ シタ Si ケッショウチュウ ノ B ゲンシ ノ キョクショ コウゾウ カイセキ

川村聡太

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2023.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R018303

Details

Publication year

2023

Alternative title

Local structural analysis of B atoms in As and B co-doped Si

Series title

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 2023年3月

Note

学位記番号: 修第9270号

学位授与年月日: 2023/03/31

学位の種類: 修士(理学)

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

川村, 聡太 (カワムラ, ソウタ)

Subject

光電子ホログラフィー

高濃度ドーピング

主成分分析