AsとBを共ドープしたSi結晶中のB原子の局所構造解析

AsとBを共ドープしたSi結晶中のB原子の局所構造解析

As ト B オ キョウドープ シタ Si ケッショウチュウ ノ B ゲンシ ノ キョクショ コウゾウ カイセキ

川村聡太

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2023.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R018303

詳細情報

刊年

2023

別書名

Local structural analysis of B atoms in As and B co-doped Si

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 2023年3月

注記

学位記番号: 修第9270号

学位授与年月日: 2023/03/31

学位の種類: 修士(理学)

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

川村, 聡太 (カワムラ, ソウタ)

件名

光電子ホログラフィー

高濃度ドーピング

主成分分析