サブ マイクロ サイズ ノ サン ジゲン Si 111 ファセット ライン コウゾウ ノ ヒョウメン セイギョ
今山航
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2023.3
Thesis / Diss.
| No. | Printing year | Location | Call Number | Material ID | Circulation class | Status | Waiting |
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1 |
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R018297 |
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2023
Surface control of sub-micron sized three-dimensional Si{111} facet line structures
奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 2023年3月
学位記番号: 修第9318号
学位授与年月日: 2023/03/31
学位の種類: 修士(工学)
Japan
Japanese (jpn)
Japanese (jpn)
今山, 航 (イマヤマ, ワタル)
