サブ マイクロ サイズ ノ サン ジゲン Si 111 ファセット ライン コウゾウ ノ ヒョウメン セイギョ
今山航
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2023.3
1
R018297
2023
Surface control of sub-micron sized three-dimensional Si{111} facet line structures
奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 2023年3月
学位記番号: 修第9318号
学位授与年月日: 2023/03/31
学位の種類: 修士(工学)
日本語 (jpn)
今山, 航 (イマヤマ, ワタル)
三次元構造
Si
表面制御
形状制御
サブマイクロサイズ
7×7超構造
三次元構造Si表面制御形状制御サブマイクロサイズ7×7超構造
