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ファセット表面をもつ立体シリコンライン構造の作製・制御技術

ファセット表面をもつ立体シリコンライン構造の作製・制御技術

ファセット ヒョウメン オ モツ リッタイ シリコンライン コウゾウ ノ サクセイ セイギョ ギジュツ

阪井雄也

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2022.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R017895

Details

Publication year

2022

Alternative title

The fabrication and control method of three-dimensional Si facet line structure

Series title

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 2022年3月

Note

学位記番号: 修第8925号

学位授与年月日: 2022/03/31

学位の種類: 修士(理学)

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

阪井, 雄也 (サカイ, ユウヤ)

Subject

立体Si

ナノテクノロジー

立体表面

低速電子線回折

角度分解光電子分光