ファセット ヒョウメン オ モツ リッタイ シリコンライン コウゾウ ノ サクセイ セイギョ ギジュツ
阪井雄也
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2022.3
1
R017895
2022
The fabrication and control method of three-dimensional Si facet line structure
奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 2022年3月
学位記番号: 修第8925号
学位授与年月日: 2022/03/31
学位の種類: 修士(理学)
日本語 (jpn)
阪井, 雄也 (サカイ, ユウヤ)
立体Si
ナノテクノロジー
立体表面
低速電子線回折
角度分解光電子分光
立体Siナノテクノロジー立体表面低速電子線回折角度分解光電子分光
