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Study of the size limitation of three-dimensional periodic nanostructure through proximity-field nanopatterning process

Study of the size limitation of three-dimensional periodic nanostructure through proximity-field nanopatterning process

Pongsakorn Sihapitak

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2020.9

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R016656

Details

Publication year

2020

Alternative title

ナノパターニングプロセスにより作製される三次元周期的ナノ構造のサイズ限界に関する研究

Series title

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 2020年9月

Note

学位記番号: 修第8357号

学位授与年月日: 2020/09/30

学位の種類: 修士(工学)

Country of publication

Japan

Title language

English (eng)

Language of texts

English (eng)

Author information

Pongsakorn, Sihapitak

Subject

Thermoelectric device

Proximity-field nanopatterning process

Three-dimensional nanostructure

RSOFT simulation

Phase shift mask